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AL120
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AL120晶圓搬送機(jī)可對(duì)應(yīng)200mm以下晶圓尺寸的硅、化合物晶圓，可以安全高效搬送薄片晶圓，非常適合于前道到后道工程的晶圓檢查。
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AL120-12
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MX63 / MX63L
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